보유장비
장비상세조회
분야 | ICT융합 | 공동활용사용방법 | 이용자 직접사용 + 대여 |
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표준분류 | 기계가공·시험장비 > 반도체장비 > 프로브스테이션 | ||
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제작사 | Cascade Microtech | 모델명 | S-300 |
취득일 | 2007-02-09 | 보유기관 | 대전테크노파크 |
사용용도 | 분석 | 설치장소 | 대전광역시 유성구 테크노9로 35 (탑립동) 694 대전테크노파크 대덕밸리고주파지원센타 F1 무선시험인증실 |
담당자명 | 주대근 | 문의처 | 930 4813 |
이용료 안내 | 사용료 : 21,860원/H (대여 시 21,860원/H) | ||
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사용/활용예 | - | ||
장비설명 | - | ||
구성 및 기능 | - 동작주파수 : ~ 110 GHz - 온도변화 : - 55 ~ + 200 ℃ - 측정 가능 Wafer 크기 : 최대 300 mm - x y 축 해상도/정확도 : 0.1 ㎛ / ± 2 ㎛ - z 축 해상도 : 1 ㎛ 용도 - 밀리미터파 대역의 트랜지스터 MMIC 등 고주파 부품 및 소자측정 지원장 |